2020-09-29
最近，全球光刻機(jī)大佬ASML給美國(guó)的工程陶瓷企業(yè)CoorsTek頒了一個(gè)卓越供應(yīng)商獎(jiǎng)。頒獎(jiǎng)是歐美大企業(yè)的常見行為，用以表達(dá)對(duì)上游供應(yīng)商準(zhǔn)時(shí)提供令人滿意貨物的認(rèn)可，有的還包括資金或?qū)嵨镏С帧?/p>
在光刻和晶圓檢驗(yàn)中會(huì)用到諸多陶瓷元件，軸承、導(dǎo)軌、內(nèi)襯、加熱、承載、固定，幾乎無(wú)所不能，無(wú)所不在。在CoorsTek而言，其產(chǎn)品有包括物理、化學(xué)、原子層沉積用襯板、過(guò)濾器等組件;等離子蝕刻設(shè)備元件，如用于改善晶圓蝕刻均勻性的聚焦環(huán)、氣體噴嘴、腔體封蓋等;快速熱處理和外延加工元件;離子注入設(shè)備元件，如陶瓷空氣軸承等;光刻和晶圓檢測(cè)元件，如夾頭、晶圓載體等;低壓化學(xué)氣相沉積及傳熱組件，如擋板、支架、噴頭等;化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)用拋光臺(tái)和拋光板;各種半導(dǎo)體部件加工時(shí)的提升、加熱、末端接觸部件，等等……它們按用途需要具備抗靜電、耐高溫、耐腐蝕、不膨脹等特點(diǎn)。
據(jù)小編初步統(tǒng)計(jì)，僅CoorsTek披露的光刻機(jī)用先進(jìn)陶瓷部件就近30種，其中尤以碳化硅(直接燒結(jié)、重結(jié)晶、氣相沉積)為主，還包括氮化硅、氮化鋁、剛玉、氧化釔、高純石英等多種材質(zhì)及形式的超純及復(fù)合材料。而ASML的陶瓷部件供應(yīng)商當(dāng)然不止CoorsTek一家，部件也遠(yuǎn)不止幾十種。隨著我國(guó)光刻機(jī)攻堅(jiān)征途不斷前行，當(dāng)然會(huì)給先進(jìn)陶瓷產(chǎn)業(yè)帶來(lái)眾多機(jī)遇!
山東埃爾派粉體科技股份有限公司生產(chǎn)各行業(yè)、各種物料不同的實(shí)驗(yàn)室粉碎設(shè)備，實(shí)驗(yàn)室用樣品粉碎機(jī)，實(shí)驗(yàn)室小型粉碎設(shè)備，實(shí)驗(yàn)室萬(wàn)能粉碎設(shè)備，提供各行業(yè)粉碎分級(jí)解決方案。我們有行業(yè)知名的尖端人才，以及世界先進(jìn)的科研設(shè)備和實(shí)驗(yàn)平臺(tái)。與多所大學(xué)院校、科研機(jī)構(gòu)的學(xué)術(shù)研討和交流合作，使我們能創(chuàng)造出更優(yōu)秀的產(chǎn)品提供給您。